Membrane-type Surface Stress Sensor (MSS) / 膜型表面応力センサーは「ピエゾ抵抗つきナノメカニカルセンサー」構造を利用して気相中の様々な微量成分を高感度に検知し電気信号へと変換するためのデバイスです。医療・食品・環境・安全など様々な分野への応用が期待されている人工嗅覚（におい）センサー/システムのコアコンポーネントとして威力を発揮します。
センサー上のシリコン膜に塗布された感応膜にターゲット分子が吸着（吸収）すると表面応力が生じ膜をたわませ、それ支えるピエゾ抵抗つきの細い梁に力が加わります。抵抗変化を時間経過とともに計測することで対象の分子を検知することができます。デバイス全体の特性は感応膜がどの分子にどれくらいの感度で反応するかで決まります。「ナノメカニカルセンサー」はシリコン膜のたわみ量を効率よく電気信号へと変換するトランスデューサーとして働きます。
NANOSENSORS™はMSS技術に基づいた「ピエゾ抵抗つきナノメカニカルセンサー・SD-MSS-1K」をSpecial Development list（特別開発品リスト・http://www.nanosensors.com/pdf/SpecialDevelopmentsList.pdf）に追加しました。「SD-MSS-1K」はユーザーが独自の感応膜をコーティングして特定アプリケーション向けのセンサーを開発することを想定し、ベアチップ「感応膜なし」の状態で販売されます。「SD-MSS-1K」は人工嗅覚システムへ向けての研究開発に新たな可能性をもたらします。
「SD-MSS-1K」の製品カタログはこちらよりダウンロードができます。詳しい技術情報、販売価格や納期等は電子メールにてinfo@nanosensors.comまで直接お問い合わせください。
Single SD-MSS-1K chip
NANOSENSORS MSS SD-MSS-1K
Multiple SD MSS-1K chips
The working principle of SD-MSS-1K